產品簡介

沈陽科儀高真空電子東及熱阻薄膜沉積系統

真空室結構:U形前開門

真空室尺寸:500x500x600mm

極限真空度:≤6.67E-5Pa

沉積源:4個11cc坩堝

樣品尺寸，溫度:φ4英寸，1片，最高800C

占地面積(長x寬x高):約2.7米x1.7米x2.1米

電控描述:全自動

工藝:片內膜厚均勻性:≤+3%

特色參數:樣品可自轉，轉速可調

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